সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব ইল্ড অপ্টিমাইজেশানে এআই

ফলন হল একটি ওয়েফারে চিপসের ভগ্নাংশ (মৃত্যু) যা কাজ করে। ফ্যাবগুলি এলোমেলো কণা, পদ্ধতিগত প্রক্রিয়া সমস্যা এবং সরঞ্জামগুলির ধীর গতিতে ফলন হারায়। কারণ একটি ওয়েফার ফ্যাবে কয়েক সপ্তাহ কাটাতে পারে, সমস্যা দিন দেরিতে ধরলে অনেক কিছু নষ্ট হয়ে যেতে পারে। AI তিনটি প্রধান ক্ষেত্রে সাহায্য করে। প্রথম ত্রুটি সনাক্তকরণ এবং শ্রেণীবিভাগ। অপটিক্যাল এবং ইলেক্ট্রন-বিম পরিদর্শন সরঞ্জামগুলি ওয়েফারগুলিতে অসামঞ্জস্য খুঁজে পায় এবং স্বয়ংক্রিয় ত্রুটি শ্রেণীবিভাগের মডেলগুলি তাদের প্রকার অনুসারে লেবেল করে। আলাদাভাবে, বৈদ্যুতিক পরীক্ষা ওয়েফার ম্যাপ তৈরি করে যা দেখায় যে ব্যর্থ হয়েছে। স্থানিক প্যাটার্ন হল একটি ক্লু: একটি এজ রিং এচিং এর মত প্রক্রিয়া চলাকালীন ওয়েফার প্রান্তে একটি সমস্যা নির্দেশ করে, যখন একটি স্ক্র্যাচ ক্ষতি পরিচালনা করার পরামর্শ দেয়। প্রকৃত ফ্যাব ওয়েফার মানচিত্র থেকে আঁকা সর্বজনীন WM-811K ডেটাসেট, এই নিদর্শনগুলিকে শ্রেণিবদ্ধ করার গবেষণায় ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। দ্বিতীয়টি হল ভার্চুয়াল মেট্রোলজি। প্রতিটি ধাপে প্রতিটি ওয়েফার পরিমাপ করা ধীর এবং ব্যয়বহুল, তাই ফ্যাবস নমুনা। ভার্চুয়াল মেট্রোলজি পূর্বাভাস দেয় সেন্সর ডেটা টুল থেকে পরিমাপের ফলাফল যা ইতিমধ্যেই রেকর্ড করা হয়েছে, যেমন চাপ, তাপমাত্রা, গ্যাস প্রবাহ এবং আরএফ পাওয়ার, প্রতিটি ওয়েফারের জন্য একটি অনুমান দেয়। তৃতীয় হল প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ। ত্রুটি সনাক্তকরণ এবং শ্রেণিবিন্যাস সিস্টেমগুলি অস্বাভাবিক আচরণের জন্য টুল সেন্সর ট্রেস দেখে এবং রান-টু-রান কন্ট্রোলারগুলি লক্ষ্যে ফলাফল ধরে রাখতে লটের মধ্যে রেসিপি সেটিংস সামঞ্জস্য করে। মেশিন লার্নিং অরৈখিক সম্পর্কের মডেলিং করে উভয়ের উন্নতি করতে পারে যা ঐতিহ্যগত পরিসংখ্যান প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ মিস করে। বেশ কিছু ভুল ধারণা প্রচলিত। ফ্যাব-এ প্রতিটি ত্রুটির প্রকারের জন্য বিশাল লেবেলযুক্ত ডেটাসেট নেই: বিরল ত্রুটিগুলি শুধুমাত্র কয়েকবার প্রদর্শিত হতে পারে, ক্লাসগুলি ব্যাপকভাবে ভারসাম্যহীন, এবং লেবেলগুলি বিশেষজ্ঞ প্রকৌশলীদের উপর নির্ভর করে। সরঞ্জামগুলি রক্ষণাবেক্ষণের মধ্য দিয়ে গেলে বা রেসিপিগুলি পরিবর্তন হলে মডেলগুলিও বাসি হয়ে যায়। এবং শুধুমাত্র একটি ভবিষ্যদ্বাণী যথেষ্ট নয়; প্রকৌশলীদের একটি প্রক্রিয়া পরিবর্তন করার আগে তাদের একটি যুক্তিসঙ্গত শারীরিক কারণ প্রয়োজন। এই বিষয়টি ম্যানুফ্যাকচারিং এর সাথে সম্পর্কিত, চিপ লেআউট ডিজাইন নয়।